X線検査機：マイクロフォーカス
Ｘ線非破壊検査システム ナノフォーカス TXLamino
- 規格
- TXL-6160nID
- メーカー名
- 東芝ITコントロール株式会社
- 特徴
- ナノフォーカスX線発生器・高精細X線検出器を搭載
X線焦点寸法は、0.25μｍと0.8μｍの選択が可能です。（フィラメント交換方式となります）
4Kモニター、高精細Ｘ線検出器、4Mピクセルカメラ搭載により高解像度を実現しています。
ラミノ（斜め）CT標準搭載
傾斜、回転時の視野中心自動追従機能、および撮影時の画像ブレを低減する機能を搭載しています。
直交CT、加熱ユニット（オプション）で、さまざまなケースでのシミュレーション解析、高精細な画像解析ができます。
ガイド操作から通常操作までオペレータのニーズに対応
ガイド操作モード／通常操作モードの選択で、オペレータに合わせた画面操作が可能です。
ガイド操作モードはガイド表示で操作を支援し、誰でも簡単に綺麗な画像が撮影できます。
通常操作モードは、詳細な撮影条件を設定できます。
人間工学に基づいたデザイン
試料扉は大きさと位置を改善、2面開口を採用し、ワークのセッティング、メンテナンス性が向上しました。
扉に観察用ウィンドウを設置し、ワークの状態を観察可能にしています。 - 仕様
- 型式 TXL-6160nID
Ｘ線発生装置 透過開放型
管電圧 / 管電流設定（最大） 160kＶ/200μＡ
Ｘ線焦点寸法 0.25μm
X線検出器 高精細X線I.I.（4インチ／2インチ）※
カメラ有効画素数 400万画素
カメラ出力階調 16bit
Ｘ線幾何学倍率 2000倍（理論値）
機構部 6軸駆動
試料テーブルX / Yストローク 300×300mm
試料テーブル回転ストローク 0°～360°（水平回転）
Ｘ線検出器傾斜ストローク 0°～60°
視野追従機能 傾斜・回転時の視野中心自動追従機能
ラミノCT（斜めCT） CTデータ収集（任意傾斜角度）
外形寸法 検査室：約W1600×D1600×H2000mm
操作卓：約W1600×D800×H(天板上面)750mm
漏洩線量 １μＳv/h以下
用途 高密度実装基板、各種電子部品 等
※ X線I.I.（X線イメージインテンシファイア）
画像解析・計測機能
計測機能 濡れ性、ワイヤ流れ、2点間寸法、ボイド計測、BGAボイド率測定
解析機能 疑似カラー、プロフィール、ヒストグラム、3次元表示
オプション
直交CT（コーンビームCT） 直交ユニット（試料テーブル交換方式）
ヒータ加熱方式 最高温度:300℃ 最高昇温速度60℃/min（エア・N2パージ可）
熱風加熱方式 最高温度:300℃ 最高昇温速度5℃/min（エア・N2パージ可）
